Ярымүткәргеч материалларны микроструктур анализлау һәм бәяләү
Хезмәт белән таныштыру
Зур масштаблы интеграль схемаларның өзлексез үсеше белән, чип җитештерү процессы көннән-көн катлаулана бара, һәм ярымүткәргеч материалларның гадәти булмаган микросруктурасы һәм составы чип җитештерүчәнлеген яхшыртырга комачаулый, бу яңа ярымүткәргечне тормышка ашыруда зур кыенлыклар тудыра. схема технологияләре.
GRGTEST клиентларга ярымүткәргеч материалны микроструктур анализлау һәм бәяләү белән тәэмин итә, клиентларга ярымүткәргеч һәм интеграль схема процессларын яхшыртырга булыша wa шул исәптән вафер дәрәҗәсе профиле һәм электрон анализ, ярымүткәргеч җитештерүгә бәйле материалларның физик һәм химик үзлекләрен комплекслы анализлау, ярымүткәргеч материалны пычратучы анализ ясау. программасы.
Хезмәт күрсәтү күләме
Ярымүткәргеч материаллар, органик кечкенә молекула материаллары, полимер материаллар, органик / органик булмаган гибрид материаллар, органик булмаган металл булмаган материаллар
Хезмәт программасы
1. Ион нур технологиясенә (DB-FIB), чипның җирле мәйданын төгәл кисүгә һәм реаль вакытта электрон тасвирлауга нигезләнеп, чип ваферы дәрәҗәсен профильгә әзерләү һәм электрон анализ чип профиле структурасын, составын һәм башкаларын ала ала. мөһим процесс турында мәгълүмат;
2. Ярымүткәргеч җитештерү материалларының физик һәм химик үзлекләренә комплекслы анализ, шул исәптән органик полимер материаллар, кечкенә молекула материаллары, органик булмаган металл булмаган материаллар составы анализы, молекуляр төзелеш анализы һ.б.
3. Ярымүткәргеч материаллар өчен пычраткыч анализ планын формалаштыру һәм тормышка ашыру.Бу клиентларга пычраткыч матдәләрнең физик һәм химик үзенчәлекләрен тулысынча аңларга булыша ала, шул исәптән: химик состав анализы, компонент эчтәлеген анализлау, молекуляр төзелеш анализы һәм башка физик һәм химик характеристикалар анализы.
Хезмәт күрсәтү әйберләре
| Хезмәттибы | Хезмәтәйберләр |
| Ярымүткәргеч материалларга элемент композиция анализы | l EDS элемент анализы, l Рентген фотоэлектрон спектроскопия (XPS) элемент анализы |
| Ярымүткәргеч материалларга молекуляр төзелеш анализы | l FT-IR инфракызыл спектр анализы, l Рентген дифракция (XRD) спектроскопик анализ, l Ядролык магнит резонансы поп анализы (H1NMR, C13NMR) |
| Ярымүткәргеч материалларга микроструктур анализ | l Ике юнәлешле ион нуры (DBFIB) кисәк анализы, l Микроскопик морфологияне үлчәү һәм күзәтү өчен кыр эмиссиясен сканерлау электрон микроскопия (FESEM) кулланылды, l Атом көче микроскопиясе (AFM) өслек морфологиясен күзәтү өчен |
